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    非晶電池板

    非晶電池板

    非晶硅電池一般采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition--等離子增強型化學氣相沉積)方法使高純硅烷等氣體分解沉積而成的。此種制作工藝,可以在生產中連續在多個真空沉積室完成,以實現大批量生產。由于沉積分解溫度低,可在玻璃、不銹鋼板、陶瓷板、柔性塑料片上沉積薄膜,易于大面積化生產。


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